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    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
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    • TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

    • 产品描述
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      • 商品名称: TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
      • 产品: 半导体机器人
      • 应用: 大气晶圆系列
      • 负载: 2-5KG
      • 臂长: 200-499mm

      TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

      5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
      TBA4894D_TBA系列半导体机器人
       
      • ● 采用闭环伺服控制
      • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
      • ● 可选配免电池绝对式编码器
      • ● 可选mapping传感器类型:对射式、反射式
      • ●可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

      臂长

      200/260/320/400mm

        额定/最大负载

       3kg

      搬运物

      ≤Φ300mm晶圆

      K8官网众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
    • K8官网众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

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    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
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    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人


    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。


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